去離子水處理步驟

　　從自來水到去離子水一般要經(jīng)過以下幾個(gè)步處理：

　　1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質(zhì)；

　　2、然后高壓通過反滲透膜；

　　3、zui后一般還要經(jīng)過一步紫外殺菌以去除水中的微生物；

　　4、假如此時(shí)電阻率還沒有達(dá)到要求的話，可以再進(jìn)行一次離子交換過程zui高電阻率可達(dá)到18兆。

　　相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水，半導(dǎo)體工業(yè)中用的大多數(shù)是高純度的去離子水。